氦质谱检漏仪是一种质谱检测方法，通过质量分析管填充氦作为检测工件的示踪气体，将工件泄漏的氦转换为相应的微电流信号，确定氦泄漏量，然后确定工件泄漏是否合格。那么，如何处理氦质谱检漏仪的内部泄漏呢？让小边带你去看看。

(1)内部密封结构。

检漏仪内部有泄漏时，会对检漏工作造成很大干扰，容易造成误检、误判。

检漏仪内部的主要密封件位于检漏仪后侧，位于隔热板上方：

①泄漏检测器试验口与阀门块的连接部分采用胶灌密封。如果泄漏检测器在运输过程中振动强烈，很容易导致密封胶开裂。

②各电磁阀与阀门组件之间的连接部分。密封方法采用氟橡胶圈或金属垫片密封。橡胶圈的密封寿命有限。当使用5年以上时，可能会出现密封故障。③各部件接口处的密封件。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件之间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)定位方法。

由于L+泄漏检测器内部结构紧凑，密封结构之间的距离非常近，因此在检测过程中很难定位。经过探索，在测试中采用以下技能可以提高定位能力：在检查泄漏之前，切断分子泵风扇的电源，避免风扇将氦源吹到每个密封环节，导致定位不准确。②吹风时，应严格控制氦源的流量，尽量使用喷枪喷嘴流量小的喷枪，以提高定位能力。③仪器的反应时间小于1s，因此在一个部分的吹风时间约为3s，然后等待s后观察信号是否发生变化。

(3)处理方法。

用不同的方法处理不同密封部位的泄漏。

①检漏接口与阀门组块的连接部位有泄漏，可先用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求，应从制造商处购买新产品进行更换。

②如果电磁阀与阀门块之间的密封圈泄漏，更换密封圈，用无水乙醇清洁密封面，不要在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂肪（这些材料在真空条件下排气，会影响仪器底部）等密封添加剂。③各部件之间的密封一般也采用橡胶圈密封，如有泄漏，可更换密封圈。注意事项是一样的。④真空计的探和外壳之间用密封胶密封，在检测过程中容易被忽略。如果有泄漏，可以先填充，但探针间距很小，操作空间有限。如果密封效果不好，请从制造商处购买新产品进行更换。

那么以上就是如何处理氦质谱检漏仪内部泄漏的答案，希望对大家有所帮助。

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