1月6日，国家重大科学仪器设备开发专项办组织召开了“太赫兹显微成像检测仪”项目综合绩效评价视频会议。该项目由湖光公司牵头，中电41所、上理工、微系统所等联合承担完成。

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该项目重点解决半导体材料中原位缺陷检测问题以及生物细胞中微纳尺度下的物质成分和结构检测问题，针对传统太赫兹系统空间分辨率有限的弊病，通过采用散射式扫描近场显微（s-SNOM）方案，实现了20nm高空间分辨率、高信噪比的显微成像、频谱检测和成份分析功能，形成了拥有自主知识产权的全国产化工程样机。

华太极光在本项目中配合完成太赫兹显微成像系统的集成及装调测试，协助开展第三方推广试用，在后续工作中将全力推动该系统的产业化，促进我国太赫兹近场显微镜的装备水平和技术能力。

撰文：劳力

供图：劳力

编辑：朱睿

编审：华龙

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