3D轮廓仪的应用

3D光学干涉轮廓仪为ICPackage（芯片封装），EngineeringSurfaces（工程表面），Biuld-upPCB（积层板），MEMS（微机电系统），IC基板等领域提供纳米级别精度的量测。应用领域举例如下：

1.PDP测量

PDP是PlasmaDisplayPanel（等离子显示板）的省略词，是前面和背面玻璃及之间被隔断密封的玻璃之间注入Ne+Ar,Ne+Xe等气体后，正负电极输入电压，从而产生Ne光的电子显示装置。界壁(BarrierRib):Panel的Cell电气、光学、物理分割的隔离壁。例如MgO保护膜段差检测,，BR(BarrierRib)测量，电极测量。

2.导电玻璃

ITO（导电玻璃）段差:ITO是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层氧化铟锡膜加工制作成的。根据高度决定电阻值不同，所以管理高度时使用。

3.印刷电路

印刷电子元件是根据现有印刷方式和印刷技术来制作电路或电子元件。在此根据测量印刷的Pattern来管理电子元件的电荷量。PET薄膜上印刷的电极层(Ag)的幅度及高度测量:：为了解高度对电荷量的关系。

4.Dot测量

利用喷嘴印刷形成pattern是显示器及半导体制造的现有技术之一。喷嘴喷射的Dot的模样及大小，是决定印刷pattern幅度及厚度的重要因素。对于排线制作，形成最佳形态的Dot是形成pattern是必要因素，因此用于测量管理。

5.激光加工部件的处理

激光加工时根据加工条件的深度及形象测量，可确定加工机的加工条件环境。加工面的深度及三维形象:根据特定条件下的加工量测量，可对原始加工条件值进行调节。

加工面的粗糙度：根据表面粗糙度测量来确定加工时间、速度等条件。

6.核电材料

核电材料表面损伤大部分是以腐蚀摩擦形式产生，此类部件摩擦后的磨损部分的体积，兑换成面积进行测量。磨损的部分体积、面积测量:配件的磨损对发电站的安全有着很大的影响，具有事前诊断的必要。

7.芯片表面粗糙度测量

白光干谁外延片是在晶圆基础上做的外延工艺产物。最终将制成IC芯片，因此对表面粗糙度要求很高。

台阶仪的应用

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。但是也有其难以克服的缺点:

1由于测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降；

2测头为了保证耐磨性和刚性而不能做得非常细小尖锐，如果测头头部曲率半径大于被测表面上微观凹坑的半径必然造成该处测量数据的偏差；

3为使测头不至于很快磨损，测头的硬度一般都很高，因此不适于精密零件及软质表面的测量。