KathMaticKC-X系列激光光谱共聚焦显微镜

KathMaticKC系列激光光谱共聚焦显微镜是一款亚微米级检测仪器，广泛应用于微小结构及特殊材料的表面扫描与测量。

测量模块采用光谱共焦技术，可非接触、高精度地测量各类材质的高度信息。结合反馈控制的XY扫描模块及三维成像算法，获得精细的表面微观结构。在功能丰富的图形后处理模块中，还可灵活地进行图像处理、三维分析、轮廓分析、粗糙度分析等。

超大的扫描范围：覆盖微米级到米级

超高的测量精度：Z轴分辨率可达2nm

超快的扫描速度：三轴运动速度80mm/s

超丰富的分析功能：轮廓、平面、体积、粗糙度分析

超简单的设备操作：样品无需处理、自动测量

超强的材质适应性：适应透明、高反射、强吸光材质

KC-X系列系统配置

KathMaticKC系列激光光谱共聚焦显微镜在精密加工、表面处理、摩擦磨损、新材料开发、燃料电池开发、MEMS制造、晶圆制造、精密光学制造、零部件检测、微流控芯片、膜结构、微纳增材等领域获得了用户的一致认可。

光谱共焦技术

KC测量头兼具投射、分散和接收复色光的功能，复色光在Z轴方向上被分散为不同波长的光线，被测物位于某一位置时，必定有一束特定波长的光线通过聚焦光路被元件所感知，接收光波长与物体位移呈一一对应关系，通过计算被感测到光的焦点的波长，换算获得距离。

传统的光谱共焦技术采用LED作为光源，缺点是波长范围短，光强分布不均匀。而KC创新性地采用了激光激发原子发光材料作为光源，此类新材料可在nm波长蓝色激光的照射下，发出波段宽且强度高的复色光，极大提升了光谱公焦技术的Z轴分辨率。在标准环境下，KC的Z轴分辨率可达2nm。

KC镜头模组中的分光镜既是同轴共焦光路的构成部分，又是色散光路的核心元件。复色光通过分光镜后，光谱沿Z轴方向均匀分布，每个具体的距离（被测物与镜头模组的间距）均对应着一个特定的波长。特定波长的反射光先后经过聚焦镜汇聚、分光镜折射与微孔过滤，最终被光谱检测器所感知。

色散元件与光谱检测器是光谱共焦技术的核心，由于光谱波长与测量距离存在对应关系，因此光谱检测器的波长分辨率（分辨波长间隔很小的两个相邻光信号的能力）直接决定了镜头模组对台阶高度差的分辨能力。KC镜头模组波长分辨高达0.nm，同时信噪比＞:1，具有极强的抗环境干扰能力。

图像分析

采集分析软件KC-MOS拥有强大的图像处理分析功能，如：二维轮廓分析、三维体积分析、粗糙度分析、自动报表生成等。KC-MOS配置了丰富的处理预设与功能导航动画，便于初学者上手操作。经验丰富的用户也可以根据测试经验，自定义处理流程并保存为预设模板。

测量方式对比