激光跟踪测量系统基本都是由激光跟踪头(跟踪仪)、控制器、用户计算机、反射器(靶镜)及测量附件等组成。

激光跟踪仪具有测量范围大，精度高，现场测量等优点，已被广泛应用于机械制造、航空航天、汽车、造船、工业机器人定位等精密工业领域，因此定期检测系统精度，确保激光跟踪仪现场使用中技术性能稳定可靠，与被检测对象的质量及安全性能密切相关。

激光跟踪仪校准有两点校准法、双面测量法、球杆测量法等。根据现有的实验条件，采用与高精度(2.8μm)的GS型三坐标测量机(CMM)进行比对来完成校准工作。具体方法为CMM分别做X、Y、Z轴向运动，反射镜(SMR)固定在测头上，而激光跟踪仪安装在距CMM工作台6m处，CMM提供标准长度，激光跟踪仪给出实测值，经比较计算后可得到不同位置的距离误差。