一、一般规定
1.1特种气体系统验收包括设备验收、管路系统验收和气体侦测/监控系统验收等。
二、设备验收
2.1机械部件验收
1.外观和流程检验
对照流程图、配置表、钢瓶接口形式等设计参数进行检验，包括管道横平竖直、焊接质量、调节阀规格和流向、气动/手动阀门规格和流向、单向阀规格和流向、微漏阀规格和流向、压力变送器/压力表规格、过滤器规格、过流开关规格和安装方向、安全阀流向和设定压力、VCR是否锁紧、管道支架安装、吹扫入口管径、工艺出口管径、排放口管径、危险标签等。
2.仪器测试
2.1检查出厂各项仪器测试报告，包括保压、氦检、颗粒度、水分、氧分等测试。参见管路系统验收章节。
2.2控制部件验收：
根据控制逻辑，检查各监测和联动部件的功能，包括压力传感器、电子秤、过流开关、高温开关、火焰侦测器、负压开关、紧急切断、输入电源、输入输出信号、接地保护、功能联动测试等。
2.3尾气处理设备验收：
外观检查：根据设计文件，检查尾气处理器的型号、流程、配管、配电、仪表量程、标签、说明书、出厂测试报告等；性能检查：测量仪表显示、本体阻力、漏风率、噪音、滴漏、处理量、去除效率、报警连锁测试、紧急切断等。
三、管路与系统验收
施工单位应通过其质检人员对施工质量进行检验。建设单位或其授权机构，应通过其质检人员对施工质量进行监督和检查。
3.1外观与文件检验
1.对照流程图，检查管件的安装位置和方向。
2.检查焊接管道是否有裂缝，特别是弯管处；
3.检查管道对焊是否符合下列规定：
4检查管道组成件的质量文件；
5检查施工过程中的焊样、焊接日志。
3.2压力试验
1.管道安装完毕，外观检验合格后,必须进行压力试验。为了避免污染，高纯系统压力测试采用气压试验，不可采用水压试验，不得使用检漏液。试验气体应采用高纯氮气或氩气，不可采用氦气。在进行系统保压之前请确认完成管道吹扫，避免铁屑污染阀门及管道。吹扫需采用大压力大流量的气源(5kg/cm2以上)进行循环吹扫；
2.压力试验前应确保焊缝及其它待检部位尚未绝热，待试管道与无关系统已用盲板或采取其它措施隔开，待试管道上的安全阀、爆破板及仪表元件等已经拆下或加以隔离；
3.试验用压力表已经校验，并在检验周期内。宜采用专用保压测试记录仪进行测试。若采用压力表，直径应不小于mm。对于低压（psig），要求刻度为1psi；对于高压(psig),刻度可采用5psi的刻度；
4.压力试验分为强度试验和气密性试验两种。强度试验采用设计压力的1.15倍，时间30分钟。气密性试验采用设计压力的1.05倍，时间24小时。
5.压力试验过程应记录起止温度。考虑温度修正后，压降值不得超过1%；
6.建设单位应参加压力试验。压力试验合格后，应和施工单位一同填写“管道系统压力
试验记录”,见附录C.1；
所测系统名称、测试日期
所测系统管道直径和长度
测试开始时间、终止时间和总历经时间
压力和温度数据
仪器校验报告
3.3氦检漏
1.自燃、易燃、毒性、腐蚀性特气系统压力试验完成后，应进行氦检漏;
2.所有可能泄漏点需要用塑料袋隔离；
3.氦检漏应采用质谱式检测仪，其检测下限不低于1x10-10atm.cc/sec;
4.特气系统宜采用内向测漏法；
5.内向测漏法测试不得高于1x10-9atm.cc/sec
6.阀座测漏不得高于１x10-6atm.cc/sec
7.外向测漏法测试不得高于１x10-6atm.cc/sec
8.氦测漏的测试顺序为：内向测漏、阀座测漏、外向测漏；
9.检测漏点修补后，必须重新经过保压测试，然后才能再进行氦检漏；
10.系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并进行吹扫；
11.测试完毕后，应提交测试报告，见附录C.2：
所测系统名称、测试日期
所测系统管道直径和长度、检测点数量
测试开始时间、各点喷氦时间、终止时间、泄漏峰值时间
背景氦漏率和峰值氦漏率
测漏仪器序列号
仪器校验报告
3.4颗粒测试要求
1.特气系统需要颗粒测试时，吹扫气体流量应满足下表要求
2.应首先测试气源纯度；合格后再进行样品测试；
3.测试指标：大于0.1微米的颗粒小于等于1颗/立方英尺；连续3次合格则测试完成；
4.颗粒测试完毕后，应提交测试报告，见附录C.3：
所测系统名称、测试日期、测试时间
所测系统管道直径和长度
吹扫气体压力和流量
取样点位置和颗粒度等级
仪器序列号
仪器校验报告
3.5水分测试要求
1.特气管道需要水分测试时，吹扫速度低于管道设计流速的10%，且小于50slpm；
2.应首先测试气源纯度；合格后再进行样品测试；
3.测试指标：20ppbv，测试气体水分增量；
4.测试结果达到后，数值需保持稳定或下降趋势20分钟后，测试结束；
5.水分测试完毕后，应提交测试报告，见附录C.4：
所测系统名称、测试日期、测试时间
吹扫气体压力和流量
取样点位置和水分等级
仪器序列号
仪器校验报告
3.6氧分测试要求
1.特气管道需要氧分测试时，吹扫速度低于管道设计流速的10%，且小于50slpm；
2.应首先测试气源纯度；合格后再进行样品测试；
3.测试指标：20ppbv，测试气体氧分增量；
4.测试结果达到后，数值需保持稳定或下降趋势20分钟后，测试结束；
5.氧分测试完毕后，应提交测试报告，见附录C.5：
所测系统名称、测试日期、测试时间
吹扫气体压力和流量
取样点位置和氧分等级
仪器序列号
仪器校验报告
四、气体侦测/监控系统验收
4.1气体侦测器
对照设计文件检查气体侦测器的类型、报警设定值(应小于TLV-TWA)、探头标定时间、安装位置、数量、排放管道位置、电源信号接线、出厂质量文件等。对所有侦测器的输出信号应进行模拟测试。
4.2系统检查
1对照设计文件，检查内存和硬盘容量、CPU、控制箱面板、输入输出设备位置和数量、电缆规格、电源、接地等。根据控制逻辑，对各报警和切断信号进行模拟测试，检查声光报警和联动系统的动作。测试系统启动、报警解除步骤。
2测试软件系统图形与实际系统的一致性、操作系统、登录安全级别、远程登录、历史数据存储位置、短信通知、通讯协议、反应速度等。
